첨단장비 재(再)제조센터·트레이닝 센터로 구성

(서울=연합인포맥스) 유수진 기자 = 반도체 초미세공정 구현에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산해 반도체업계에서 '슈퍼 을'로 불리는 ASML이 경기도 화성에 반도체 장비 클러스터를 지었다.

ASML의 아시아 핵심 거점이 우리나라에 위치한 만큼, 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업과의 공정 협력 및 기술 교류가 강화될 것으로 기대됐다.

산업통상부는 강감찬 무역투자실장이 12일 경기도 화성시에서 열린 ASML의 '화성캠퍼스 준공식'에 참석했다고 밝혔다. 국내 주요 고객사인 삼성전자·SK하이닉스 관계자도 자리했다.

ASML은 네덜란드를 대표하는 글로벌 반도체 장비 기업으로, 대표 제품인 EUV 노광장비를 삼성전자[005930]와 SK하이닉스[000660], TSMC 등 국내외 반도체 기업에 공급하고 있다. 이들이 초미세 공정을 구현하기 위해선 EUV 노광장비 확보가 필수다.

EUV 노광장비는 웨이퍼에 설계된 회로 패턴을 그리는 장비로, 광원의 파장이 짧을수록 공정 미세화가 가능하다.

ASML 화성캠퍼스는 심자외선(DUV)·EUV 노광장비 등 첨단장비 부품의 재(再)제조센터와 첨단기술 전수를 위한 트레이닝 센터 등으로 구성됐다. ASML은 지난 2021년부터 5년간 총 2천400억원을 투자해 1만6천㎡ 규모로 지었다.

산업부는 ASML의 화성캠퍼스가 국내 반도체 산업의 공급망 안정성 강화와 기술 내재화에 기여할 것으로 기대한다.

실제로 ASML은 향후 이 캠퍼스를 통해 국내 반도체 기업과의 공정 협력 및 기술 교류를 강화할 예정이다.

또한 국내 소재·부품·장비 기업과도 연계 생태계를 구축해 한국 반도체 산업과의 상생형 협력 모델을 본격화한다.

강감찬 실장은 축사에서 "외국인 투자는 우리 경제의 혁신과 성장의 핵심 동력"이라며 "정부는 현금지원 확대, 입지·세제 혜택 강화, 규제 개선 등 글로벌 기업이 투자하기 좋은 환경을 조성하기 위해 적극 노력하겠다"고 밝혔다.

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